Micro-ElectroMechanical Systems

MEMS는 실리콘 웨이퍼에 에칭된 압력 감지 다이어프램이다. MEMS 마이크는 주로 일렉트릿 캡슐을 기반으로 하며 일반적으로 온보드 프리앰프와 아날로그-디지털 변환기를 갖추고 있다. MEMS 마이크는 마이크 칩 또는 실리콘 마이크라고도 한다.

압력에 민감한 다이어프램은 고정된 천공판 뒤에 에칭되어 있다. 천공된 고정 플레이트와 다이어프램이 함께 작용하여 커패시터를 형성한다.