Micro-ElectroMechanical Systems

MEMS는 실리콘 웨이퍼에 에칭된 Pressure sensitive 다이어프램이다. MEMS 마이크는 주로 일렉트릿 캡슐을 기반으로 하며 일반적으로 온보드 프리앰프와 아날로그-디지털 변환기를 갖추고 있다. MEMS 마이크는 마이크 칩 또는 실리콘 마이크라고도 한다. MEMS 마이크는 일렉트릿 마이크의 설계를 기반으로 만들어진다.

압력에 민감한 다이어프램은 고정된 천공판 뒤에 에칭되어 있다. 천공된 고정 플레이트와 다이어프램이 함께 작용하여 커패시터를 형성한다.

MEMS 마이크는 작은 사이즈를 가지고 있기 때문에, 스마트폰, 보청기, 랩탑 컴퓨터, 스마트 홈 기기 등에 주로 사용된다.